二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293652308 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias是由TEL（TOKYO ELECTRON）Corporation設計制造的蝕刻器/asher。它是一種高精度的蝕刻和灰化裝置，用於在半導體芯片、微機電系統（MEMS）結構和集成電路（IC）結構的蝕刻層中，在薄膜層和圖樣中創建微小的開口。TEL Trias是一款叠代蝕刻和灰化設備（TEARS），與傳統的幹蝕刻器和灰燼器相比，精度和精確度都有所提高。它采用先進的半導體蝕刻/灰化工藝，能夠實現高度精確的蝕刻、灰化和切割操作。該系統具有改進的高通量工藝時間控制功能,使其能夠在蝕刻層中生成一致的蝕刻輪廓和精確的圖樣。此單元還包含對蝕刻頭的精確定位控制,從而可以將蝕刻頭精確定位在基板表面上。此外，TOKYO ELECTRON Trias還具備晶圓級溫度控制、精密晶圓襯裏和墊片放置、精密晶圓旋轉和載荷等集成晶圓處理能力。這使得機器能夠將蝕刻、ashing和精確的陣列任務集成到單個刀具操作中,從而無需額外的加工過程,並允許優化蝕刻和ashing過程。Trias還采用了低壓旋轉陽極氧化（RRO）蝕刻工藝，可以實現更精確的蝕刻輪廓和更高的蝕刻質量，同時消除蝕刻損傷。此外，TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS還改進了工藝控制，在蝕刻室中精確控制了濕度、溫度和氧濃度，從而提高了蝕刻質量，提高了同一蝕刻時間的收率。TEL Trias還具有改進的安全性和操作功能,例如封閉式機器人、運動控制、快門閥門和負載/卸載設備,從而提高了安全性並提高了用戶安全性。再者，TOKYO ELECTRON Trias也通過ISO 14001認證，保證資產的性能質量。通過結合先進的蝕刻和灰化技術，Trias是半導體芯片、MEMS結構、IC結構生產的理想蝕刻器/灰化器。它提供了更高的精度、精度和安全性，使其成為高級蝕刻和灰化任務的理想設備。
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