二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293677520 待售
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ID: 293677520
優質的: 2006
Metal CVD system
Process: Ta₂O₅
(2) Chillers
(3) Chambers
Loader
Waste gas treatment system
Uninterruptible Power Supply (UPS)
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一種蝕刻器，或稱為asher，用於半導體微加工工業，用於創建集成電路。TEL Trias使用高度精確的等離子體增強化學氣相沈積（PE-CVD）工藝，提供卓越的可控性、可重復性、高水平的工藝靈活性和高容量的吞吐量。為了確保結果準確一致，TOKYO ELECTRON Trias將實時數據反饋和晶圓運動測量與智能控制系統結合在一起。在間隙填充方面，Trias特別有效，其封閉式間隙填充模式沈積得到證實，使其能夠以高精度沈積填充深孔和極窄間隙。除了填充間隙外，TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS還可用於復雜蝕刻，如蝕刻制造晶體管、電容器和其他基本電路元件所必需的高長寬比結構。TEL Trias的封閉結構減少了化學暴露，使其不僅更有效而且安全。TOKYO ELECTRON Trias還具有提供實時過程監控的高級過程控制（APC）系統。該系統允許自動優化蝕刻參數,確保過程始終處於最佳運行狀態。此外，Trias還配備了快門、晶圓轉移、樣品交換等腔室活動，操作方便安全。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS非常適合在高批量生產環境中使用,在這些環境中,一致的性能、可靠的過程管理和高通量至關重要。TEL Trias憑借其先進的功能和良好的業績記錄,是一款可靠的工具,可幫助半導體制造商生產最優質的集成電路。
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