二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293689274 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是利用感應耦合等離子體（ICP）技術，精確蝕刻石英、玻璃、矽片、金屬等多種材料的蝕刻器/asher。TEL Trias是一種先進的蝕刻設備,由多過程模塊組成,能夠同時執行標準蝕刻和精細圖案蝕刻,需要精確控制厚度和可重復性。TOKYO ELECTRON TRIAS的ICP源結合了一個高頻電壓發生器和一個大的玻璃外殼，內含惰性氣體，如氙氣、氫氣、氦氣。ICP源用於創建能量水平、溫度和壓力受控的等離子體，允許對多種材料進行精確蝕刻。Trias的軟件界面可以根據客戶的特定需求輕松定制。它包括各種流程參數和內置參數，可以根據需要進行調整和修改。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS還具有均勻的氣體分配系統，將挖出的物質均勻地分布在晶圓表面上，使得蝕刻深度和電阻率均勻。其統一的溫度控制單元允許精確控制蝕刻過程，確保可重復性和一致的高質量結果。TEL Trias的界面還允許用戶根據客戶指定的需求跟蹤流程參數、分析趨勢、調整蝕刻流程。安全方面，TOKYO ELECTRON Trias的設計符合客戶的安全規定和要求，以及提供自動報警器、壓力和流量監測、排氣機、蒸汽回收等綜合安全功能。總之，Trias 蝕刻器/asher是一種先進的蝕刻工具，能夠對各種材料進行精密蝕刻和細紋蝕刻，並提供出色的安全特性。