二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293754398 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一種最先進的蝕刻器(或asher),常用於半導體等相關行業,如IC生產和液晶面板。它能夠使用片狀晶片上的反應性氣體進行蝕刻和清潔操作。TEL Trias利用智能技術和工具的組合實現精密蝕刻,包括等離子體源控制、超高真空技術和其他各種工藝技術。TOKYO ELECTRON TRIAS具有許多先進的功能,使其能夠在低功率下運行,並具有很高的控制水平、準確性和可靠性。該蝕刻器具有先進的三束光源、多伺服柔性氣體混合系統、高端溫壓控制系統和可定制的蝕刻室。有了這些特性,Trias可以為最復雜的晶片和任何所需的表面光潔度提供精確的蝕刻。蝕刻器包括許多可編程的功能,例如能夠為不同類型的晶圓選擇最佳蝕刻參數,設置工藝參數以自定義結果,並創建自定義配方以重復相同的蝕刻結果。此外,它還有綜合安全機制,以確保安全運作。TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一個可靠的生產平臺,具有易於使用的控制和監控系統,提供卓越的性能、準確性和可靠性。它能夠對各種結構和材料,如矽、石英和鋁進行蝕刻、清洗和粉刷,提供多功能性和靈活性。它是現代生產設施尋求減少時間和成本,同時保持高質量標準的理想選擇。
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