二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293767140 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一種等離子體蝕刻設備，專門設計用於設備制造研發，以及生產範圍廣泛的半導體器件。它能夠在同一腔室中蝕刻單個或多個圖樣層，用於制造現代MEMS和相關設備。TEL Trias利用低頻等離子體源最大限度地減少不同模式上的蝕刻損傷,同時提高生產率。該蝕刻系統還提供了廣泛的精密等離子體蝕刻功能，使得能夠制造具有高分辨率和精確度的設備。TOKYO ELECTRON Trias單元改進了工藝控制，提高了生產能力，是制造先進半導體元件的理想選擇。Trias有許多特點，使它成為一個有吸引力的蝕刻機。例如,它具有改進的熱管理工具,能夠借助內部加熱器和冷卻器快速冷卻和恢復時間。此外,它還配備了高級自動頻率控制（AFC）功能,以確保過程的一致性以及更高的吞吐量和生產率。此外，該資產還包括用於實時監測和控制等離子體狀況以及快速識別任何潛在問題的內置診斷程序。這確保了高級別的過程可重復性和可靠性。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS還附有一系列專用的蝕刻室，提供不同的蝕刻能力，並提供不同層次的選擇性來蝕刻不同的材料。例如，專用腔室允許進行深蝕刻、淺蝕刻和反應性離子蝕刻。此外，該型號還配備了多點偏置板和多級端點檢測設備等多種先進部件，以最大限度地提高蝕刻質量。最後,TEL Trias設計為易於操作,並附帶一系列軟件和用戶界面。例如，它可以通過集成的觸摸屏面板進行控制，使用戶能夠直接從顯示屏監控和控制蝕刻過程。此外,系統與一系列軟件包兼容,允許用戶創建蝕刻配方並評估蝕刻結果。總體而言，TOKYO ELECTRON Trias為廣泛的半導體需求提供了可靠且可重復的蝕刻性能。其先進的蝕刻能力，加上廣泛的工藝控制功能，使其成為制造現代MEMS及相關設備的理想選擇。