二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293767234 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一種蝕刻和灰化設備，用於多種應用，從金屬的精密加工和蝕刻，到矽、聚合物蝕刻，以及一系列其他特殊應用。它為精細的特性處理和其他高端應用程序提供卓越的性能和可靠性。TEL Trias利用一種特殊類型的等離子體源設計用於高精度蝕刻和灰化操作。這允許在針對高分辨率結果進行優化的條件下執行蝕刻過程。得益於其最先進的等離子體工藝，TOKYO ELECTRON Trias能夠以極高的精度蝕刻出最精細的細節，使其成為各種電子設備應用的理想選擇。但真正使Trias與其他蝕刻系統脫穎而出的功能是其可自定義的功能。該系統具有一系列可編程參數，允許用戶根據自己的特定需求微調流程參數。這包括定制當前設置、脈沖長度、等離子體源和蝕刻壓力，以及各種腔室設置，包括溫度控制等。TEL/TOKYO ELECTRON Trias還設有快速反應大氣控制單元，允許用戶快速調整以適應不同的處理條件。TEL Trias的腔室設計是另一個讓它與其他蝕刻系統脫穎而出的特點。它旨在最大限度地提高蝕刻工藝的吞吐量、均勻性和精確度。該腔室的設計旨在確保均勻的等離子體場和高效的工藝氣體流動，以及整個腔室的穩定溫度水平。利用這些特性，TOKYO ELECTRON Trias可以提供最高質量的蝕刻結果，最大吞吐量。此外，Trias提供卓越的安全性和可靠性。該機器設計用於各種各樣的過程，其操作可以隨時進行監督和監控。其廣泛的診斷和控制功能，以及強大的工藝控制能力，使得TEL/TOKYO ELECTRON Trias成為任何類型蝕刻或灰化工藝的可靠選擇。總而言之,TEL Trias為各種蝕刻和灰化任務提供了高效、可靠和安全的解決方案。
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