二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293778167 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款先進的蝕刻器/asher，用於在集成電路的創建過程中，在半導體晶片中創建復雜的圖樣和不同的形狀。TEL Trias與計算機控制的舞臺配合工作，能夠輕松準確地產生精確的結果。TOKYO ELECTRON TRIAS用於生產廣泛的電子元件，如晶體管、二極管和其他微電子元件。Trias有一個高壓批蝕刻設備（HEBS）腔室，使高縱橫比蝕刻具有精確的厚度控制。腔室允許精確控制時間、溫度、壓力、化學等蝕刻參數。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS為精確的特征尺寸和可重現的性能,利用自旋光刻塗層系統進行均勻塗層,並易於去除光刻膠。TEL Trias的集成過程控制單元旨在提供強大的實時控制功能。此機器監視、校準和管理腔室內的過程參數、配方和變量。它還有助於保持生產質量,並將工藝參數保持在可接受的範圍內。先進的工藝控制工具還允許用戶即時進行調整，以適應工藝參數和環境條件的變化。TOKYO ELECTRON TRIAS高度適應當今的工藝要求，提供高效、可重復、可靠的蝕刻工藝。Trias具有高性能的蝕刻和沈積過程、均勻的表面光潔度以及先進的程序管理功能,可提供突破性的性能。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS能夠放電0.1至150升的體積，可以處理直徑達4英寸的晶片。TEL Trias還具有智能警報資產,用於預測、監視和防止過程錯誤和汙染物。總體而言，TOKYO ELECTRON Trias是一款先進的蝕刻器/asher，提供精確的控制和可重復的性能，並確保可靠的結果。憑借其高性能蝕刻、先進的程序管理能力和智能報警模型,Trias提供了高吞吐量和延長使用壽命的可靠結果。