二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293821470 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一個先進的蝕刻機-asher平臺，用於制造半導體應用的電子元件、電路和晶片。該設備提供濕蝕刻/剝離和沈積/升空工藝，允許將多層復雜材料和不同厚度的圖樣貼在基板上。TEL Trias有一個三級系統，上下室由垂直室連接。上腔用於晶片的轉移和清潔，下腔用於蝕刻和剝離，垂直腔用於控制晶片溫度、晶片地形以及掩模和抗蝕層的一致性。該單元最多可處理8英寸晶圓，最小特征尺寸為0.6微米。它是加工半導體晶圓、薄膜晶體管和微機電系統（Microtromechanical Systems）等精細基板的理想選擇。氣動控制閥可以精確控制蝕刻劑和溶劑，而不會使底物的細膩特性變性。TOKYO ELECTRON TRIAS配備了顯微鏡和其他成像工具，用於對生產的半導體進行可視化和故障檢測、錯位和其他差異，以及進行嚴格的質量控制。此外，該機還配備了樣品裝載機、加倍澆註系統等先進的自動化部件。這使得材料的加工更加容易和高效。該工具還配備了先進的安全功能，包括氮氣凈化資產和滅火器。這有助於減少腐蝕過程中化學品處理不當造成的汙染和其他潛在危害。Trias具有堅固可靠的性能，允許制造高質量、精確的半導體產品。它也是緊湊的，使得它適合大多數實驗室環境。該模型還具有成本效益，因為其目的是盡量減少化學品和設備的浪費。此外，這些設備符合所有環境法規，其目的是盡量減少對環境的影響。