二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293824449 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是半導體工業中使用的最先進的蝕刻器和asher。它是一種反應性離子蝕刻（RIE）設備,具有業界領先的性能和可靠性。廣泛應用於半導體芯片的制造，包括微電子結構、聚合物、納米結構的蝕刻。TEL Trias是一個多過程系統，可以在一個單元中執行蝕刻、灰化和清洗過程。TOKYO ELECTRON TRIAS利用感應耦合等離子體源與HDPCVD（高密度等離子體化學氣相沈積）耦合，提供高度優化的蝕刻工藝。Trias采用了精密的控制機器,能夠進行平滑、高精度的蝕刻/灰化操作。它還提供各種腔室配置，以適應一系列的應用。它配備了FirstTM腔室傳感器，能夠監控腔室內部並防止汙染。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Trias還提供了一種創新的MultiChamber TM功能,使用戶能夠在多個室內執行並發過程。此功能非常適合許多蝕刻過程,因為它顯著降低了成本和時間。此外,TEL Trias還配備了FlexibleGas TM工具,可以根據工藝需要選擇不同種類的氣體和組合。TOKYO ELECTRON TRIAS在過程數據的管理上也非常高效。它具有ProcessSmart TM數據收集資產,能夠實時監控和評估流程數據。高級分析模型為用戶提供了對其流程的寶貴見解,以優化生產效率。最後,Trias旨在最大限度地減少潛在的人為錯誤並降低維護成本,使其成為以經濟高效的方式制造半導體芯片的理想選擇。