二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293824452 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款電腦控制的等離子體蝕刻機-asher設備。該系統專為研究實驗室使用而設計,旨在輕松準確地優化過程,使用戶能夠獲得所需的蝕刻和灰化配置文件,而不會影響設備性能。其全面的設計融合了增強用戶體驗的功能，如自動晶圓位置檢測技術和圖形用戶界面。TEL Trias機配備了高性能的自動蝕刻和灰化源技術，使用戶獲得了最高水平的精度和控制。該工具利用先進的等離子體處理反應器和堅固的腔室組件，在幾分鐘內確保均勻和高質量的結果。此外,TOKYO ELECTRON Trias還提供了一個寬廣的過程窗口,其中包含可輕松調整的不同參數,為用戶提供了對單個過程參數進行微調的可能性,以實現高度詳細的蝕刻或灰度剖面。Trias具有可編程的超快速源交換時間,允許用戶在進程的中間切換源,而不會降低性能。該資產還包括一個真空密封機制，防止任何氣體泄漏由於空氣滲透或意外提升腔室。其革命性的晶片位置檢測技術考慮了晶片角度，使用戶能夠獲得最佳的蝕刻或灰度輪廓。為了方便用戶使用,TEL/TOKYO ELECTRON Trias具有直觀的觸摸面板顯示屏,可放大蝕刻/灰化工藝參數的圖形表示,使其更易於閱讀和理解。該模型還支持OPC數據，為外部設備控制打開了工具，可以簡化當前的蝕刻過程。再者，TEL Trias可以從單獨的終端接收編程輸入，允許用戶執行額外的源設備操作和過程絕緣控制。TOKYO ELECTRON TRIAS是一個高度先進且精確的等離子體蝕刻機-asher系統，旨在為研究實驗室提供一套全面的工具。憑借其行業領先的技術和對晶圓位置檢測和OPC數據通信等獨有功能的支持,Trias是任何希望實現最高級別工藝優化的研究人員必不可少的工具。