二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9118411 待售
網址複製成功！
ID: 9118411
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Chemical Vapor Deposition (CVD) system, 12"
Cassette to cassette
(2) TiCl4 Ti
(2) TiCl4 TiN
Transfer
Load lock: A and B
KOGANEI Gauge
STEC VC131004ST20 Vaporizer
Pump:
LLM Dry pump
TM Dry pump
(5) Dry pumps
Valve:
FUJIKIN Manual valve (N2-1/N2-2/N2-PF/Ar)
Manual valve (Dry air line)
(2) LLM1.2 Door valves
(2) V TEX I-I-98009-2-1 Gate valves
KITZ Gate valve
Regulator:
VERIFLO SQ-MICRO-HF-50-2P-UPG-601 (N2-1/N2-2)
VERIFLO SQ-MICRO-130E-50-UPG-6405 (N2-PF)
VERIFLO SQ-MICRO-602PUPGPA (Ar)
KOGANEI SQ-MICRO-30-2P-UPG-6028
VERIFLO SQ-MICRO-602PUPGPA (Dry air line)
Sensor:
(2) SUNX DP2-22 Pressure sensors
LEYBOLD PS.12/PS.32 TSR211S
LEYBOLD PS.31 INFICON VSA100A
LEYBOLD TSR211S Pirani sensor
Filters:
N2-PF
Dry air line
Manometer:
MKS 626A01TDE
LEYBOLD CDG160A-S 1330PA
LEYBOLD CDG160A-S 133PA
RF Power:
KYOSAN HFK15Z-TW1 RF Power supply
KYOSAN EAKIT RF Matcher
MFC:
Make / Model / Gas / Value
HITACHI / SFC1470FAMC-4UGLN / CLF3 / 500 SCCM
HITACHI / SFC1480FAMC-4UGL / Ar / 2 SLM
HITACHI / SFC1481FAMC-4UGLN / He / 5 SLM
HITACHI / SFC1480FAPDMC-4UGL / NH3 / 600/2000 SCCM
HITACHI / SFC1480FAMC-4UGL / N2 / 2 SLM
- / - / Ar 300 SCCM
/ - / N2 300 SCCM
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款高速蝕刻器/asher，設計用於在廣泛的材料上給出一致的蝕刻結果，包括金屬、半導體材料和陶瓷基板。利用先進的真空蝕刻技術，實現了高精度和重復性。蝕刻器/灰化器可用於多種應用，如濺射蝕刻、蝕刻或停止蝕刻後的光刻平面化、薄膜應力減輕以及在難以到達的區域形成凹槽。蝕刻器/asher配有真空設備，允許精確控制蝕刻/灰化區域。它有一個先進的蝕刻室和一個真空屏蔽保持清潔室水平的系統內。此外，它還配備了光學單元和自動準直探針（ACP）來精確測量和設置蝕刻條件。這款蝕刻器/asher配備了強大的高頻射頻發生器，以提供能量蝕刻廣泛的材料。蝕刻過程由集成計算機機器監控和控制，也可用於根據正在加工的材料微調蝕刻參數。該工具還配備了軟件，用於調整處理參數、測量蝕刻速率、編譯處理結果。此蝕刻器/asher具有各種功能和工具,使其能夠用於各種應用程序。例如，它具有將反應性氣體引入蝕刻室的氣體資產，以及在蝕刻過程中添加化學品的化學輸送模型。再者，它配備了一個高溫度陽極氧化室，可以用來蝕刻和平面化晶片等材料。在安全性方面，TEL Trias的設計具有安全特性，如用於停止蝕刻器/灰燼的特殊緊急停止（E-STOP）特性，無臭氧排氣設備，以及在發生任何合規問題時關閉射頻發生器的自動關閉功能。該系統還有一個自動安全裝置，用於檢測有害臭氧水平。總體而言，TOKYO ELECTRON Trias是一款高性能的蝕刻器/asher，能夠在廣泛的材料上實現一致的蝕刻結果。它配備了先進的蝕刻技術、安全特性，以及處理不同蝕刻和灰化工藝的各種工具，使其成為各種半導體器件制造應用的絕佳選擇。
還沒有評論