二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9158471 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是專門為半導體器件制造而設計的蝕刻器/asher。它用於在晶片制造過程中在矽晶片上創建和修改模式，通常在亞微米尺寸上。TEL Trias是一種將超高真空兼容性和高速吞吐量相結合的四面晶圓蝕刻機，成為一種緊湊的工具。其堅固的構造提供了一個長期的過程。TOKYO ELECTRON TRIAS能夠在-20°C至600°C的溫度範圍內進行廣泛的加工操作，包括蝕刻、氧化、擴散和植入。Trias配備了80 MHz的石英諧振器，用於與時間相關的處理，以及自動晶圓傳輸和中央數據管理系統等一系列其他省時功能。這些功能確保TEL/TOKYO ELECTRON Trias易於維護,並在最短的停機時間內提供可靠的操作。TEL Trias對工藝條件的變化反應迅速準確。它的雙噴霧陰極設計只需要兩種工藝氣體，在很大的工作壓力範圍內提供對蝕刻速率的精確控制。低溫、高功率純氧源可最大限度地減少熱預算,並提供穩定的工藝條件。TOKYO ELECTRON Trias還提供先進的安全功能，確保操作員的安全和安心。板載RFID閱讀器保護操作員免受晶圓表面的影響,而工藝室過濾器則通過捕獲超細顆粒來保護環境。通過簡化和自動化蝕刻工藝,Trias確保了半導體器件制造的靈活性、可重復性和成本效益。TEL/TOKYO ELECTRON Trias具有靈活性、高性能和安全特性,是現代半導體器件制造必不可少的工具。