二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9162309 待售
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ID: 9162309
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
CVD System, 12"
(1) Trias platform
(1) UVRF Module
(1) High-K CVD module
(1) SPA-N Module
(1) LPA Module
Includes:
Carrier ID reader
(2) Light stacks
Transfer navigation system
3rd Loadport
UPS
FFU Chemical filter
Maintenance kit
Rear step(UVRF / High-K / SPA-N)
(3) TC Wafers
Floor plate
OES Monitor(SPA-N)
Gas filter(SPA-N)
(1) TEL Standard CIM / FA
(1) Linux OS modification for CND2
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias是由領先的半導體設備公司之一TEL製造的蝕刻/灰化設備。TEL Trias的設計目的是在生產過程中減少周期時間而不犧牲準確性或質量。該機配備了高速等離子體加工、光刻能力和等離子體輔助清潔等一系列先進功能。它還提供半導體器件的高精度蝕刻,並提供高密度等離子體以實現亞半微米分辨率。此外,TOKYO ELECTRON TRIAS在蝕刻過程中提供了極好的均勻性,並提供了廣泛的蝕刻材料,包括銅、鋁、鎢和棒。此外,Trias能夠蝕刻各種各樣的選擇性比,這使得能夠生產防蝕刻的電子元件。該機甚至可用於多層材料的蝕刻,精度高達50 nm。這臺機器同樣引人註目的是它在整個生產過程中保持高水平可靠性和質量的能力。這是利用高級診斷和遠程控制功能實現即時優化的。TEL/TOKYO ELECTRON Trias也是為了長期的總擁有成本優化而設計,其模塊化的設計允許方便、省錢的升級,以確保高效的生產線。最重要的是,這臺機器的設計非常方便用戶。TEL Trias具有直觀的菜單和易於遵循的說明,非常適合批量生產需要。它還具有獨特的無工具維護功能,使操作員能夠快速輕松地修復故障,並以最小的停機時間進行預防性維護。總體而言,TOKYO ELECTRON Trias是一種最先進的生產工藝設備,其設計目的是提供半導體蝕刻的質量和準確性。憑借其先進的處理器和廣泛的等離子體輔助蝕刻功能,該機器非常適合那些需要經濟高效、高密度、多層材料精密蝕刻的人。
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