二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9216068 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款專為過程集成而設計的全自動系統蝕刻器/asher。它提供了先進的設備制造技術，具有高度的精確度，用於蝕刻和灰化工藝的優化。該設備采用優化的相移和工藝參數，提供統一的蝕刻和灰化工藝結果。它配備了並行負載鎖，能夠同時加載多個基板尺寸。先進的主動級控制系統（ALCS）進一步增強了蝕刻和灰化操作能力,該系統利用對工藝條件的實時監測,並將樣品溫度精度保持在+/-0.1°C。該裝置能夠同時進行單個晶片和連續晶片加工應用的蝕刻和灰化，蝕刻速率可控，精度為1000埃。通過高功率離子槍和先進的廢氣部件保持蝕刻和灰化過程的一致性。該機提供了廣泛的工藝化學方法，用於蝕刻和粉刷各種類型的材料。該工具旨在對圖樣化和未圖案化的基板進行高精度蝕刻。雙聚焦光學設備能夠以不同的特征密度進行蝕刻，並具有細線精度和光學對準。光學誘導的庫侖電位使得在蝕刻和輪廓控制過程中邊緣端子的精確控制成為可能。該型號配備獨立控制的加熱器設備，以維持基板溫度。該系統還集成了一個全自動等離子體蝕刻室和一個高級離子源，用於亞微米特征尺寸的蝕刻。通過使用與廢氣部件耦合的多噴嘴蝕刻頭獲得高精度的重復性。該裝置具有較高的處理吞吐量和基於脈沖的蝕刻技術，能夠在最短的時間內提供出色的蝕刻效果。此外，該機還提供了擴展的ESD防護範圍、綜合氣體安全工具和先進的等離子體屏蔽等先進的安全特性，使操作安全可靠。總之,TEL Trias資產為過程集成提供了寶貴的工具,能夠以前所未有的精度和一致性提供先進的設備制造技術。該模型在應用方面用途廣泛，具有先進的工藝控制算法、增強的安全環保特性、高吞吐量等優越的性能特點。