二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9225844 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款在前端半導體生產工藝中廣泛使用的先進蝕刻器/asher。它是一個高性能的蝕刻和灰化過程模塊，在一個高效模塊中提供等離子體蝕刻和幹灰化過程。該系統包括一個工藝室、真空泵封裝、腔室控制單元、電源設備和操作員控制臺。TEL Trias的工藝室是最註重剛性設計要求的建造，是為提高蝕刻工藝的均勻性和可重復性而設計的。其結構包括三層真空室和金屬室基座，具有堅固的顆粒控制，可用於可靠的薄膜蝕刻工藝。腔壁鍍鎳，具有化學相容性和長期用途，電阻率高，可以提高蝕刻工藝精度。該系統的真空套件設計為提供可靠穩定的機器環境，並配備了可變節流真空泵等TEL專屬技術，以及多個節流點，以減少停機時間，提高蝕刻工藝精度。腔室控制單元采用復雜的多參數控制軟件進行編程，以優化過程優化、溫度和壓力控制以及過程運行的可重復性。TOKYO ELECTRON Trias的電源設備包括電子回旋共振（ECR）電源和源電源，由高端、高頻RF功率放大器驅動。這確保了一個穩定和均勻的蝕刻過程，使得生產高產成為可能。ECR源還提供各種源電極設計，在高處理速度下創造出高效的工藝和優越的均勻性。Trias的操作控制臺為無縫、簡單的用戶體驗提供了直觀、直觀的界面。它帶有一個集成的流程庫,用於快速數據管理以及完整的流程參數控制。控制臺還允許廣泛的流程監控和早期問題檢測,以及訪問數據日誌文件以實現完整的流程可追蹤性。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款高效可靠的蝕刻器/asher，旨在支持現代半導體生產工藝。其先進的耐用性和性能使其成為半導體制造前端和後端部件的理想選擇。