二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9234139 待售
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ID: 9234139
優質的: 2013
System, parts machine
Missing parts:
EFEM: Main PC / Robot controller
Transfer module: TM Robot / Robot controller
Process chamber: ESC
2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一種蝕刻/asher設備，用於金屬沈積前晶圓表面上的有源層創建。該系統是利用幹等離子體技術進行陰離子沈積的直列式蝕刻/發酵室，利用從入口到反應室的定制源氣體混合物。TEL Trias單元適用於制造高精度器件,如場效應晶體管（FET）。它能夠處理18毫米至800毫米的晶圓直徑，其中300毫米和450毫米是生產中使用的標準尺寸。從氧化物蝕刻、氮化物蝕刻、多晶矽蝕刻、金屬濺射蝕刻等各種工藝，都可以精確控制蝕刻速率、選擇性、均勻性、離子雜質；以及盡量減少液體的汙染和使用預先設定的食譜。TOKYO ELECTRON TRIAS機器能夠在功能控制方面提供0.3 μ m至10 μ m或更高範圍的蝕刻輪廓,而無需輔助工具。它利用兩頻源功率在反應室中產生強烈的、自穩定的幹式等離子體，同時控制離子的產生。這與可定制的源氣體混合物一起，可以實現高效和精確的蝕刻結果。該工具還提供晶片步進兼容性，允許快速晶片傳輸和保證良好的整體晶片工藝結果。該資產還允許每分鐘多達20個晶圓的吞吐量和完整的晶圓映射能力。此外，Trias在線蝕刻/發酵室能夠控制各種反應參數。它配有多種監測選項以確保可重復性，包括壓力和溫度測量、質譜和石墨爐操作。由於其高效、精確的蝕刻結果，TEL/TOKYO ELECTRON Trias模型在半導體制造中得到了廣泛的應用，使其成為該領域最受歡迎的蝕刻/蝕刻系統之一。事實證明，它能夠產生具有出色填充和地形能力以及出色的移動性和選擇性值的熱氧化物層。它將精確度和可靠性相結合，成為生產先進電子設備的寶貴工具。
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