二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235229 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一種蝕刻器，或稱為asher，用於制造半導體器件。它是為各種蝕刻相關工藝而設計的，包括抗蝕條、濕蝕刻、濺射蝕刻和descum。利用射頻（RF）功率,TEL Trias設備可實現精確、可重復的蝕刻效果.該系統由工藝室、真空泵、射頻發生器和可電離氣體輸送單元組成。它一次最多能容納四個晶片在工藝室內。該工藝室具有溫度控制、用途廣泛、耐工藝汙染和環境汙染兩種特點.再者，TOKYO ELECTRON Trias機裝有真空泵，可達5 x 10-6 torr。射頻發電機可產生可調節的功率水平,以適應一系列工藝要求,從低功耗濕蝕刻到高功耗,以實現更快的拆除率。射頻功率通過兩個獨立可調的平面電極施加到樣品上，使復雜的圖樣能夠輕松蝕刻。該工具的氣體輸送資產允許精確控制蝕刻速率和端點檢測,以實現精確的端點控制。這種氣體輸送模式還有助於最大限度地減少蝕刻過程產生的有害影響。Trias設備包括一個過程可視化軟件包，能夠存儲產品配方，分析蝕刻結構並實時呈現結果。這個軟件包可以方便地控制和監控整個蝕刻過程，並為用戶提供了一個用於精確、可重復蝕刻作業的通用平臺。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Trias蝕刻系統允許精確和可重復地制造半導體器件，具有用戶友好的過程控制和易於使用的界面。憑借其先進的特點，該單元是一個強大的工具，高效和可靠的蝕刻操作。