二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235248 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款先進的蝕刻/asher設備，設計用於高效、精確的在線處理。該系統利用電子束技術對各種基板上的材料進行高分辨率圖樣和蝕刻。該單元的堅固設計確保了關鍵微電子應用的可靠結果，包括光掩模、對準層和回磨。TEL Trias機由電子束柱、離子發射側、線性掃描級和氣體分布工具四個關鍵部件組成。電子束柱由一個機電單元組成，它為精確的對準或納米圖案提供了快速運動和高精度。離子發射側包含線性離子束發生器和探測器，以及離子交換器和發射能量控制組件。線性掃描級攜帶電子束柱穿過基板執行重復的陣列操作。最後，氣體分配資產儲存、供應和凈化加工氣體，以便對基材進行成型。所有這些組件結合在一起，使TOKYO ELECTRON Trias模型成為實現關鍵設備過程的快速而準確的工具。Trias設備還具有先進的過程控制界面。它能夠實時監控蝕刻工藝，並允許用戶快速調整參數，監控工藝進度，確保最大精度。此外，系統中包含的高級數據分析程序提供了全面的設備數據，作為優化蝕刻工藝的基礎。所有這些特性使得TEL/TOKYO ELECTRON Trias單元成為在各種基材上對材料進行精確蝕刻和圖案化的理想工具。總體而言,TEL Trias是一款高級蝕刻器/asher機器,專為高效、精確的在線處理而設計。它結合了電子束技術的多功能性、線性掃描階段的優越精度以及數據分析程序的先進過程監控能力，創造出一種能夠在幾乎任何基板上精確蝕刻和圖案化材料的強大工具。此外，先進的過程控制界面使得控制蝕刻過程和優化設備性能比以往任何時候都更加容易。