二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235251 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是為各種半導體工藝和應用而設計的最先進的蝕刻和灰化設備。該系統可以蝕刻和粉刷各種材料，包括金屬、氧化物和聚合物。它還可以用來創建極精確的微觀結構，如線條、孔、坑和特征。該單元由結合射頻（RF）、中頻（MF）、直流電（DC）電源以及多種蝕刻和灰燼化學構型的先進等離子體源供電。等離子體源是高度可調的，允許操作員精細調整他們的蝕刻和灰化過程。該機配備了真空室、淋浴工具、視覺資產、負載鎖、過程控制器。該模型有一個直觀的圖形用戶界面，允許用戶快速設置和故障排除他們的進程。所有參數都可以在廣泛的範圍內調節，包括蝕刻和灰化脈沖寬度、線條和空間寬度，以及其他關鍵蝕刻和灰分反應特性。該設備還具有現場測量和控制蝕刻和灰分完成點的功能。系統的自動化決策算法使它能夠預測、預防和避免任何過程不穩定,從而確保多年的可靠和經濟高效的操作。該單元靈活的設計也讓它可以在蝕刻和粉刷行業內以最新的工藝設備和發展輕松的方式進行修改和升級。最後,該機器由全球售後服務工程師和技術人員組成的網絡作為後盾,確保用戶從蝕刻和粉刷系統中獲得最大收益。TEL Trias是針對各種半導體蝕刻和灰化工藝及應用的高級解決方案,為用戶提供卓越的工藝性能、耐用性和經濟高效的投資。