二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235254 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是由半導體行業工藝設備領先供應商TEL生產的先進蝕刻/asher設備。TEL Trias系統結合了最先進的蝕刻和灰燼技術以及優越的控制系統，為各種材料的蝕刻和灰化提供了高效、精確的方法。TOKYO ELECTRON TRIAS使用等離子體源以安全、受控和環境友好的方式蝕刻和灰分晶圓、口罩和模具等底物。該單元包括一個LPCVD底層沈積室、一個反應性離子蝕刻（RIE）室和一個灰室。LPCVD底層室提供ALD和LPCVD膜在單室內的同時沈積，精度高，穩定性高。RIE室蝕刻具有高度均勻的溝槽輪廓的淺層和深層結構。此外，RIE室包括一個深部抑制等離子體源，以確保在高縱橫比結構中的深部溝槽蝕刻。Trias的灰室負責從基板表面去除某些材料，如聚合物、氧化物、氮化物、金屬和其他材料。灰機配備了高密度等離子體源，在基板表面提供高蝕刻速率和均勻性。此外，灰分工藝在安全、惰性的氣氛中進行，保護底物不受氧化和汙染。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS工具還具有先進的控制資產,可確保對蝕刻和灰燼工藝的精確控制。這樣可以確保基板與基板之間的均勻性、可重復性以及跨多個基板的一致性。最重要的是，隨著蝕刻時間的縮短和返工的可能性最小化，模型可以高效運行。總體而言,TEL Trias設備是一種最先進的蝕刻/灰化器,它將先進的蝕刻和灰分技術與卓越的控制系統相結合,以確保各種材料的蝕刻和灰分的最大效率和準確性。TOKYO ELECTRON Trias系統適用於各種真空和等離子體過程，如LPCVD、等離子體蝕刻、灰燼。此外，其先進的控制單元確保了對蝕刻和灰燼工藝的精確控制，高效保證了蝕刻時間短，返工可能性小。