二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9241671 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款全自動蝕刻機，將蝕刻、圖樣、剝離等先進技術結合為一臺直接設備。這種緊湊而堅固的系統具有蝕刻技術的最新發展，以及用戶友好的界面和精確的處理。因此，它用途廣泛，非常適合半導體行業的各種應用。TEL Trias以等離子體反應性離子蝕刻（RIE）和化學氣相沈積（CVD）等最新蝕刻技術為特色。它還包括一個石英船、一個電位器和一個電源單元，允許完全控制模式傳輸過程。由於其創新的激光尋址功能，TOKYO ELECTRON Trias能夠蝕刻和圖案到微米級的精度水平。Trias配備了多項安全功能，包括先進的泄漏檢測器和壓力表機器，加上全封閉的處理空間。這些特性確保大氣安全且無危險顆粒，有助於確保最佳表面清潔度。TEL/TOKYO ELECTRON Trias中的用戶界面直觀易用，可實現最大效率和生產力。頂部面板采用彩色鍵控,分為四個部分,可訪問所有以太網和PLC設備設置功能。大觸摸屏顯示器進一步簡化了操作流程。TEL Trias提供了許多可選功能,例如自動基板/樣品傳輸工具、靜電計資產和集成條帶功能。這些功能為各種流程應用程序提供了更強大的功能和靈活性。TOKYO ELECTRON TRIAS是一款高度先進、用途廣泛的蝕刻機，將最新的蝕刻和圖案化技術結合成一個緊湊的模型。憑借其用戶友好的界面、豐富的可選功能和先進的安全功能,Trias非常適合執行眾多半導體處理任務。