二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9261887 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一個先進、靈活的等離子體蝕刻和灰化工藝平臺。它旨在滿足當今具有挑戰性的等離子體灰燼和蝕刻應用的嚴格要求。它的模塊化設計和堅固的結構使其在各種加工要求上都非常可靠，能夠處理尺寸從4「到8」不等的晶片。TEL Trias的先進特性包括耐用的石英陶瓷屏蔽襯裏，在揮發性等離子體和工藝室之間提供了一層保護。這種襯裏消除了化學反向擴散，使設備最適合最敏感的過程。它還具有正在申請專利的射頻電極設計，確保在蝕刻和灰化過程中最大限度地控制能量。電極電感低，具有優化的上部電極設計，保證了均勻的蝕刻和灰化過程。除了這些特性外，TOKYO ELECTRON Trias還具有低湍流氣流設計，通過創建低湍流氣流模式優化蝕刻和灰化過程均勻性和重復性。氣流有助於最大限度地減少分布在晶片上的不均勻性，從而產生一致的過程結果，產量更高。該系統還具有廣泛的工藝參數，允許用戶針對不同的應用量身定制蝕刻和灰化工藝。高級軟件包引導操作員完成每個步驟,從流程配置到示例加載和處理。這種靈活性使用戶能夠輕松地使Trias適應其特定需求或快速開發新流程。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一個先進的、可靠的蝕刻/asher單元。它的特點組合使得它適合各種工藝要求，靈活的操作使得它易於配置和操作。有了這臺機器，用戶可以有信心無論具體應用程序如何，都能獲得始終如一的高質量結果。