二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9261888 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一款先進的蝕刻器/asher，提供高通量、經驗證的長期性能和優越的工藝產量。該設備采用自動化系統體系結構,允許用戶快速切換蝕刻和灰化過程,從而擴展設備的功能。采用多腔室設計,該機器能夠同時運行蝕刻和灰化過程,從而為用戶的生產線提供最大的利用率和靈活性。TEL Trias具有出色的蝕刻速率均勻性,允許用戶以有限的批量和較高的蝕刻速率進行細線方面的蝕刻,以及均勻的紋理對齊。自動腔室開關技術允許用戶執行小至一秒的循環時間，使工具更加高效。資產還根據復雜的設計準則優化生產過程,從而提高產品質量和可靠性。該模型采用高精度、直接驅動的機器人平臺和先進的輸入/輸出控制設備構建，允許用戶以高精度編程復雜的模式。直驅機器人平臺測得的蝕刻速率極其精確，降低了線路設計誤差幅度。此外，系統還配備了PPF（Process Parameter File）功能，允許用戶在從一個腔室移動到另一個腔室時復制過程參數。該裝置設計堅固可靠，具有具有反饋回路、最小調節脈沖時間、高效動力驅動和先進慢跑系統的運動控制機。用戶還可以根據自己的生產要求定制運行時間。此外,該工具還配備了高級SPC（統計過程控制）和優化功能,以進一步確保產品質量和過程效率。TOKYO ELECTRON TRIAS非常適合精密蝕刻和等離子體灰化等應用。憑借其先進的功能、強大的結構和易用性,Trias幫助用戶通過提高工藝產量和提高產品質量來實現所需的產品。