二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9273449 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
ID: 9273449
晶圓大小: 12"
System, 12" (8) Chambers Front end Wafer transfer module Electrical cabinet.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款業界領先、高品質、精密蝕刻/灰化設備。其卓越的設計使其成為技術最先進的蝕刻器之一,並且能夠為各種應用持續生產高精度零件。TEL Trias被設計為使用一系列蝕刻和灰化技術,包括幹蝕刻、反應性離子蝕刻(RIE)、濺射蝕刻和激光燒蝕灰化。它提供了大量的多功能性,使其能夠用於各種應用,從薄膜沈積和蝕刻工藝到標記和STI(淺層海溝隔離)應用。此外,系統還配備了最先進的控制和精密特性。用戶友好的編程界面允許精確且可重復的蝕刻/灰化過程。自動監控單元有助於確保每次結果一致,智能自動協調功能也有助於復制蝕刻模板以確保一致性。TOKYO ELECTRON TRIAS還具有高精度的三級塗覆卡盤機,允許卓越的蝕刻和灰度精度。此卡盤工具可用於執行多個蝕刻和灰化操作,或使用可伸縮或可調節的支撐銷。這允許用戶使用各種復雜的蝕刻和ashing任務來執行Trias。最後,TEL/TOKYO ELECTRON Trias被設計為緊湊而靈活。它的占用空間小,有助於降低成本,並能夠根據需要快速重新配置,這意味著它可以用於各種任務。總而言之,TEL Trias是一項出色的蝕刻/灰化資產,能夠一次又一次地產生精確的結果。它設計多種多樣,非常適合各種專業生產應用,而其控制和精確功能有助於確保可靠性和一致性。
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