二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9284866 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是由領先的半導體設備供應商TEL制造的蝕刻器。TEL Trias是一種中型蝕刻器，設計用於半導體器件制造過程中的蝕刻臨界層。它體積小，非常適合在生產線上使用，而其先進的特性，如高吞吐量，使其適合高精度蝕刻工藝。TOKYO ELECTRON TRIAS能夠生產具有小長度特性的蝕刻，具有廣泛的蝕刻和加工能力，使其適合於高級半導體器件制造等高端應用。蝕刻器提供各種蝕刻技術，如各向同性幹蝕刻、反應離子蝕刻（RIE）和濕蝕刻。Trias可以進行配置和量身定制，以處理一系列不同的膜，從薄的電介質到矽的超薄層。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Trias包括多種技術，如多方法過程自動化和邊緣輪廓優化接口（EPOI），使蝕刻器能夠根據特定蝕刻過程進行最佳調整。TEL Trias配備了精密測量系統，使其能夠精確測量蝕刻速率、均勻性、摻雜輪廓等工藝參數。這些系統還使TOKYO ELECTRON Trias能夠保持過程的一致性和穩定性。該蝕刻器還具有安全特性，如火災和氣體探測以及超壓傳感器，以確保生產環境的安全。Trias還配備了多項高級功能，例如能夠選擇多個蝕刻過程、後續過程控制、配方生成和自動過程優化。這些功能使用戶可以快速定制配方，創建復雜的蝕刻圖樣，進一步提高整個蝕刻過程的效率和生產率。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Trias是中型生產線的理想蝕刻器。它的特點和能力使其適合關鍵蝕刻工藝，並且能夠針對不同的工藝進行量身定制，結合其測量和安全系統，使其成為合適的設備齊全的蝕刻高精度半導體器件系統。