二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9290896 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款用途廣泛、速度快、價格經濟的蝕刻器/asher，專為工業和學術研發應用而設計。它能夠安全地蝕刻、沈積和蝕刻來自廣泛基材的各種薄膜材料。TEL Trias具有直觀的觸摸屏界面,可實現簡單高效的操作。可容納直徑不超過12英寸、厚度不超過0.5英寸的基材。密封室內部通過鉸鏈門進入，方便控制工藝參數。蝕刻過程由頻率範圍為10至50 kHz的超高頻發電機驅動。通過可調電源實現蝕刻功率的精確控制，從而優化蝕刻工藝參數。TOKYO ELECTRON TRIAS還具有一系列高科技選項，包括金屬沈積控制的恒流偏置電源、允許高密度薄膜沈積的高能氣體分銷商，以及提高蝕刻均勻性的高壓脫壓系統。精密氣流控制器可精確控制所有薄膜的蝕刻速率和蝕刻選擇性。所有流程的參數都可以預先編程以簡化操作。Trias旨在確保安全、合規和環境保護。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一款易於使用且可靠的蝕刻器/asher，能夠滿足最苛刻的研發應用的要求。其用戶友好的界面使得它成為那些在科學和工程行業工作的人的一個有吸引力的選擇。