二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9294403 待售

ID: 9294403
Metal CVD system, 12" Process: Copper barrier seed 2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一種高度可靠的蝕刻/asher設備,提供多種材料的單孔或多孔圖案。它采用高級功能進行設計,使用戶能夠輕松地、精確地將圖樣蝕刻到各種材料中,例如半導體、多層薄膜和鍍金。TEL Trias系統的有效性是由幾個關鍵特性組合而成的,如高燒蝕率、短蝕刻時間和適應具有挑戰性的蝕刻參數。TOKYO ELECTRON Trias的高燒蝕速率使得將鰭線、接觸孔、溝槽等小圖樣蝕刻成材料的精度非常高成為可能。該單元由定位機、激光源和光束輸送工具組成,所有這些工具協同工作,快速準確地進行蝕刻。該資產還使用戶能夠調整諸如脈沖能量、光束大小和蝕刻速度等參數,以實現所需的蝕刻結果。Trias的短蝕刻時間是由於其高效率的燒蝕速率,以及對具有復雜幾何形狀的材料進行加工的能力。該模型具有多種蝕刻模式,包括多掩蔽,允許用戶在單個過程中在一批材料上蝕刻多種圖案。這在設計復雜的集成電路時特別有用,因為它消除了對多種蝕刻過程的需求,從而節省了時間和金錢。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Trias可用於蝕刻具有挑戰性的材料,如銅、矽和鍍金基板。它能夠通過使用專門的蝕刻化學和激光源來實現這一點,而激光源可以精確地調節激光束的能量和脈沖寬度。這使用戶能夠有效地蝕刻可能需要多個蝕刻過程的不同材料。綜上所述,TEL Trias是一款高度可靠的蝕刻器/asher設備,具有先進的功能,用戶可以輕松地將精確的圖樣蝕刻到各種材料中。它具有較高的燒蝕速率、較短的蝕刻時間以及具有挑戰性的材料蝕刻能力,是任何蝕刻應用的絕佳選擇。
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