二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9294442 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款業界領先的用於半導體制造的蝕刻器/asher。這種蝕刻器具有加工各種材料的能力，包括矽、銅、鎢、鈦等。它采用兩種截然不同的工藝，一種是將材料沈積在基板上，另一種是將材料從基板上蝕刻出來，形成分辨率高達70納米的圖樣特征。這使得它成為當今半導體生產中使用的先進技術節點的理想選擇。TEL Trias是一種半自動工具,具有高效、精確的數字控制功能。憑借其獲得專利的半導體技術，可以在蝕刻和灰化特征時達到高度的重復性和準確性。該工具結合了一些功能和附件，可提高自動化和定制程度，包括嵌入式預校準程序和網絡連接選項。它還具有模塊化的設計和靈活的工藝室，使其成為一種可以很容易地適應不同用戶需求的工具。TOKYO ELECTRON Trias還具有直觀的圖形用戶界面（GUI），允許用戶快速設置不同的處理參數和監控工具性能。它利用嵌入式原子力顯微鏡（AFM）技術，對納米圖樣成像結果進行高分辨率成像。最後,它與多個業界領先的軟件包（包括CAD/CAM、EDA和PDK軟件）集成,並直接支持GDSII/OASIS格式文件。總之，Trias是一個先進和多才多藝的蝕刻師/asher。它高效的數字控制、模塊化設計、直觀的GUI和多種集成功能,使其成為半導體制造過程中生產小而復雜的陣列的絕佳選擇。它的高端特性和功能允許用戶在灰化和蝕刻過程中具有極大的靈活性和控制能力,從而實現了高精度和可重復性。