二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9311187 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是為先進的微加工和納米加工應用而設計的最先進的蝕刻或灰化設備。該系統能夠在單個平臺中提供靈活的蝕刻化學選項以及精確的過程控制。其獨特的雙腔室設計，使得各種晶圓尺寸的基材和蝕刻化學精確的過程控制。上腔容納蝕刻工藝化學物質，下腔容納冷卻器和氣體推進器以調節加工參數。該單元提供精確的蝕刻參數控制，確保蝕刻結果在基材區域可重復均勻性。TEL Trias支持多種蝕刻化學，如幹灰、濕近溢出蝕刻（NOS）、濕化學蝕刻以及等離子體蝕刻。這些蝕刻化學方法允許不同種類的材料在單個機器中進行完全兼容的蝕刻。TOKYO ELECTRON TRIAS也被設計為人性化，具有自動化的過程配方生成器，以及實時的過程監控。Trias還提供了先進的節省時間的技術,例如負載鎖定自動裝載機,它減少了晶圓加載時間,並消除了人工傳輸造成的汙染。此外，機器還設計了多行加載工具，允許一次加載多個晶片，從而加快了蝕刻過程。這臺機器還能儲存多達1000份食譜，容易重復批次。TEL/TOKYO ELECTRON Trias還提供高級工藝控制功能,這對於高級蝕刻/灰化應用至關重要。該資產具有溫度、壓力和氣體控制系統，允許精確的參數調整，增加蝕刻/灰分均勻性和可重復性。該模型還具有晶片級超精度運動和精確時間控制的特點。TEL Trias還提供遠程故障診斷功能,使技術人員和工程師能夠快速識別故障並采取糾正措施。該機還被評為潔凈室環境安全，適合潔凈室使用。此外,它的多語言界面和全面的用戶手冊使其易於操作和維護。TOKYO ELECTRON TRIAS是一款高度先進的設備，旨在滿足先進的微加工和納米加工應用的需求。它提供靈活的蝕刻化學、精確的過程控制和節省時間的功能以及可靠的故障診斷。憑借其用戶友好的特點和全面的控制能力，這種蝕刻/灰化系統是高級研發操作的理想選擇。