二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9311193 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一種蝕刻器/asher，用於微加工過程。其目的是從表面去除材料的薄膜。蝕刻用於通過以受控方式去除原子和分子來塑造材料的表面。來自TEL的TEL Trias是一款功能強大的蝕刻器/asher,提供卓越的性能和高蝕刻率容量。它是一種多用途蝕刻器/去除器，包含了廣泛的材料，包括金屬、半導體、絕緣體、抗蝕劑和聚合物。TOKYO ELECTRON TRIAS由真空室、氣體分配設備、計算機控制系統、等離子發生器和電極加熱器組成。等離子體發生器在腔內產生等離子體場，是蝕刻過程的能量來源。然後通過調整氣流、壓力、氣溫、電極加熱等參數來控制蝕刻過程。Trias的Electroformed Nickel （ENI） chamber能夠處理各種材料,具有極好的可重復性和精確的控制。零點環密封進一步加強了加工隔室，增加了裝置的穩定性和加工時間。TEL/TOKYO ELECTRON Trias擁有高度精密的電腦控制機器，為使用者提供對蝕刻過程的最大控制。其數據控制工具記錄、存儲和控制與流程相關的所有參數,還可以存儲多達1 GB的流程配方,這些配方可以通過USB輕松傳輸。TEL Trias可以處理廣泛的基材，如玻璃、薄膜、光電等精密蝕刻。TOKYO ELECTRON Trias憑借其低功耗、高速蝕刻、優越品質的終端產品，非常適合半導體、視覺和工業應用。Trias對均勻性、化學和表面形態保持嚴格的標準，使得更清潔的蝕刻工藝能夠產生最高質量的結果。其易於使用的控制資產,加上堅固的硬件平臺,使其成為現有的最佳蝕刻器之一,並因其一致、高質量的工藝結果而得到進一步加強。