二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9355862 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一種用於執行蝕刻或灰化過程的蝕刻器/灰化器。它是一種先進的設備，旨在提供一致、高質量和高性能的晶片表面處理。它是一個高度通用和可靠的系統，可用於各種蝕刻和灰化應用。該單元基於三階段設計概念TEL Trias-它提供了三種不同類型的蝕刻/灰化過程：基於等離子體的蝕刻、LPCVD蝕刻和群集蝕刻。獲得專利的TOKYO ELECTRON Trias設計縮短了每個蝕刻/灰化過程的持續時間,並且由於它采用了三階段設計,因此可以顯著減少給定過程所需的不同蝕刻/灰化工具的數量。基於等離子體的蝕刻階段為蝕刻類型的過程提供了一個高性能的過程，允許嚴格控制和均勻地蝕刻結果。LPCVD蝕刻階段建立在熱誘導的方法之上，提高了工藝的可重復性。群集蝕刻階段為提供可靠的蝕刻/灰燼工藝提供了一種真正獨特而有效的方法。其專利設計采用多種氣相蝕刻/灰分工藝，為各種基材提供均勻、精確的蝕刻和灰分。Trias機器是高級和復雜應用程序的理想蝕刻器/asher。它提供卓越的性能、可靠的重復性和統一的結果。此外，它還可用於各種應用，從淺層溝槽隔離（STI）到內存設備的表面平面化。它是一種可靠的蝕刻器/灰化器,可用於任何蝕刻或灰化需求。