二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9357255 待售
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ID: 9357255
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
CVD System, 12"
Process: BL GL TiN Dep
BROOKS AUTOMATİON TLG-LON Load port, (3) FOUPs
SHINKO SELOP12F25-30A-13
SHINKO SBX92101286-3 FI Robot
FUJI M-UPS050J22L-UL UPS
SANEI GIKEN TL7KCPVB-2P Chiller
Mainframe:
YASKAWA XU-RVM4100 Buffer robot
V TEX I-I-98009-2-1 LLM1.2 Gate valve
KITZ DOUBLE ACTION Chamber gate valve
Process chambers: PM1, PM2, PM3, PM4
Single wafer chamber
With stage heater
RKC INSTRUMENT INC Module heater controller
TMC2001 Module heater controller
Cubic trap
VERIFLO SQ-MICRO-602PUPGPA Regulator
LEYBOLD TSR211S Pirani sensor
INFICON VSA100A Pressure sensor
MKS 626A01TDE Capacitance manometer
LEYBOLD CDG160A-S 1330PA Capacitance manometer
LEYBOLD CDG160A-S 133PA Capacitance manometer
STEC VC131004ST20 Vaporizer
Gases:
Gas / Make / Model / Valve
MFC2 / ClF3 / SAM / SFC1470FA / 500 SCCM
MFC3 / N2 / SAM / SFC1480FAPD / 0.6/2 SLM
MFC5 / NH3 / SAM / SFC1481FA / 5 SLM
MFC6 / NH3 / SAM / SFC1480FAPD / 300 SCCM
MFC7 / N2 / SAM / SFC1480FAPD / 0.6/2 SLM
MFC8 / NH3 / SAM / SFC1480A / 1 SLM
MFM / TiCl4 / STEC / SEF-8240 / 100 SCCM
MPD
Transformer box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款蝕刻/灰燼型表面加工機，設計用於多種材料加工行業。TEL Trias系列機器是專門為半導體基板的蝕刻和灰化而設計的。它們經過專門設計,可提供一致的處理結果,滿足各種客戶應用的要求,包括細間距電路蝕刻/灰分、超屏障蝕刻/灰分、接觸金屬蝕刻/灰分和溝槽蝕刻/灰分等。TOKYO ELECTRON TRIAS系列設計用於Ar和CF4供氣系統,允許用戶根據其特定的應用要求定制結果。它采用模塊化設計,用戶可以輕松升級或定制設備組件,以適應不斷增加的容量和功能。此外,系統可以配置為手動或自動處理基板。Trias的核心是一個高頻感應耦合等離子體（ICP）源，其設計目的是確保最精確和最具成本效益的蝕刻和灰化操作。ICP源是可調的，允許用戶根據基板材料和正在執行的蝕刻/灰化操作來調整電壓、電流和諧振頻率。這種可調的ICP源允許更精確的處理，以及在大面積上更統一的蝕刻和灰化。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS單元利用車載真空布線機，確保卓越的吞吐量能力和均勻的蝕刻和灰化。這種真空布線工具也保證了氣體均勻流入ICP源。動態溫度控制功能還有助於提供可重復的蝕刻和灰化結果,同時優化氣體消耗。此外,TEL Trias旨在提供高效的熱管理資產,幫助維護基板的表面溫度,確保對蝕刻和灰化過程的精確控制。TOKYO ELECTRON TRIAS系列還包括晶圓傳輸、晶圓個體冷卻通道、過程監控系統和遠程監控功能等多種有用功能。這允許用戶實時查看和監視處理條件,從而確保一致的結果和有限的停機時間。總體而言,Trias系列蝕刻/灰燼是各種材料加工行業的理想選擇。可調ICP源、車載真空路由模型和動態溫度控制功能確保用戶獲得符合其應用需求的精確、可重復的蝕刻和灰化結果。TEL/TOKYO ELECTRON Trias系列具有多種功能,是蝕刻/灰化操作的絕佳選擇。
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