二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9357277 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
蝕刻機/ 光阻清洗機
製造商
TEL / TOKYO ELECTRON
模型
Trias
ID: 9357277
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
CVD System, 12" Process: BL GL TiN Dep BROOKS AUTOMATİON TLG-LON Load port, (3) FOUPs SHINKO SELOP12F25-30A-13 SHINKO SBX92101286-3 FI Robot FUJI M-UPS050J22L-UL UPS SANEI GIKEN TL7KCPVB-2P Chiller MPD Transformer box Mainframe: YASKAWA XU-RVM4100 Buffer robot V TEX I-I-98009-2-1 LLM1.2 Gate valve KITZ DOUBLE ACTION Chamber gate valve Process chambers: PM1, PM2, PM3, PM4 Single wafer chamber With stage heater RKC INSTRUMENT INC Module heater controller TEL TMC2001 Module heater controller Cubic trap VERIFLO SQ-MICRO-602PUPGPA Regulator LEYBOLD TSR211S Pirani sensor INFICON VSA100A Pressure Sensor MKS 626A01TDE Capacitance manometer LEYBOLD CDG160A-S 1330PA Capacitance manometer (1333Pa) LEYBOLD CDG160A-S 133PA Capacitance manometer (133KPa) STEC VC131004ST20 Vaporizer (TiCL4) Gases: Gas / Make / Model / Valve MFC2 / ClF3 / SAM / SFC1470FA / 500 SCCM MFC3 / N2 / SAM / SFC1480FAPD / 0.6/2 SLM MFC5 / NH3 / SAM / SFC1481FA / 5 SLM MFC6 / NH3 / SAM / SFC1480FAPD / 300 SCCM MFC7 / N2 / SAM / SFC1480FAPD / 0.6/2 SLM MFC8 / NH3 / SAM / SFC1480A / 1 SLM MFM / TiCl4 / STEC / SEF-8240 / 100 SCCM 2006 vintage.
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款為復雜和先進的微加工應用而設計的蝕刻/asher設備。具有高吞吐量、高工藝控制的經濟高效生產能力。該系統融合了三軸級用於精確晶圓對準、自動映射單元以確保均勻蝕刻等功能。該機器能夠處理6「至12」的晶圓尺寸。它還可以估計每個應用程序的蝕刻時間，因此用戶可以最大化生產吞吐量。它使用感應耦合等離子體源在整個晶片區域提供均勻蝕刻。TEL Trias工具具有先進的腔室設計以減少汙染。它包括一個高性能的圓柱泵和一個大容量的儲物箱，以減少排氣時間。盒子裏還裝有動態凈化資產，以確保可靠的蝕刻條件。該模型是過程自動化的,以確保生產效率和質量。提供自動聚焦系統和自動映射,以加快流程設置和完成時間。集成蝕刻室設計為在整個過程中均勻性和可重復性。設備中還包含一整套流程監控功能。這包括工藝參數的多通道實時監控、泄漏檢測、壓力平衡監控、晶圓對準等工藝參數。每個應用程序的所有參數都是可調的。該系統還具有一個聯機幫助功能,其中包含有關設置、操作和故障排除的全面信息數據庫。提供錯誤報告和警報,以幫助用戶快速識別和解決與流程相關的問題。最後，該裝置有幾個安全功能，旨在確保操作人員在蝕刻過程中的安全和可靠性。其中包括正壓隔離機、射頻泄漏檢測器、排氣控制工具和其他安全功能。
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