二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9362298 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是TEL專門為晶圓上復合半導體層的變薄和陣列化而設計的蝕刻器/asher設備設備。該系統以TOKYO ELECTRON在半導體設備行業的長期專業知識為基礎，為用戶帶來精密蝕刻和灰化工藝的最新技術。TEL Trias利用直流電（DC）蝕刻和元素反應性離子蝕刻（RIE）對復合半導體薄層或蝕刻圖樣特征。TOKYO ELECTRON Trias本身可以使用O2-plasma、NF3-plasma、CF4-plasma和Ar-splasma進行蝕刻。Trias也可以與其他等離子體源如SiH4-plasma、N2O-plasma和O2F2-plasma結合使用。該單元的一個關鍵特征是統一控制選項（UCO）；這有助於提高所有晶片區域蝕刻的均勻性。此選項使用全自動控制器來控制每個晶片位置的不同薄膜的蝕刻速率。這一過程有助於在每個晶圓之間和通過每個晶圓產生更均勻的蝕刻。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS也被設計為減少蝕刻過程中產生的廢舊化學物質的數量。有一個「端點停止」（End Point Stop）選項使蝕刻過程在預定點處完成。這減少了每次蝕刻所用的能量和材料，使機器更環保。TEL Trias還配備了許多精密的安全功能。在整個蝕刻過程中監測溫度、壓力和氣體水平。此外，還有一個緊急關閉開關，當檢測到任何異常的化學物質或溫度讀數時，它會迅速關閉進程。總之，TOKYO ELECTRON Trias是一款高效、可靠、安全的蝕刻工具，旨在滿足半導體行業的需求。具有卓越的蝕刻精度、UCO選件、內置安全特性；Trias非常適合在晶片上蝕刻復合半導體層和圖案化特征。