二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9362299 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是用於高端半導體和MEMS制造的下一代蝕刻/灰燼平臺。它是一種能夠在晶圓規模的各種材料上蝕刻/灰分的自動化設備。該系統套件圍繞著完善的TEL Trias平臺構建，該平臺被領先的制造設施用來生產先進的設備和組件。TOKYO ELECTRON TRIAS能夠對多種材料進行蝕刻/灰化處理，包括矽片、石英、低k電介質、銅、鎢等。它利用Trias過程控制和腔室過程優化系統進行精確的過程控制和各種反應堆配置。所有這些特性都允許無創的低溫蝕刻/灰分，產量高。TEL/TOKYO ELECTRON Trias配備了高度安全、超快速的以太網端口，使用戶能夠與局域網或雲存儲和傳輸過程文件接口。該平臺還具有高級端點控制狀態監視功能,可用於監視設備事件、產品完成、腔室溫度/壓力以及工具的總運行時間。TEL Trias憑借其高精度組件和專利技術,對小型功能進行精確蝕刻/灰化,提供卓越的性能。它為用戶提供了先進設備的高級生產所需的高可重復性、生產吞吐量和生產率。該工具還具有改進的過程控制機器，能夠監控用戶輸入和各種工具的輸入，使用戶更容易監控過程參數。最後,TOKYO ELECTRON Trias是一種易於使用的工具,它允許用戶利用雲計算解決方案來提高安全性和質量。這些功能有助於縮短停機時間,並使用戶能夠最大限度地提高生產吞吐量和產量。此下一代蝕刻/灰燼平臺的設計旨在提供強大、可靠的性能,並滿足當今先進半導體和MEMS制造商的要求。