二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9378306 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款為半導體器件制造而設計的高級蝕刻機或asher機。由全球領先的半導體設備制造商之一TEL開發的TEL Trias是為超精密加工基板材料而打造的，以創造清潔、無腐蝕的器件。TOKYO ELECTRON TRIAS配備了多種專有技術，所有這些技術共同努力，確保在不影響速度的情況下進行高精度蝕刻。其獨特的氣體分配設備通過將蝕刻氣體均勻地分配到基板表面來優化蝕刻過程。該系統還可確保連續處理溫度,從而導致附帶的溫度漂移。Trias還具有高度精確的定時控制單元,有助於將處理時間保持在最低水平。此外，機器還可以加工一系列材料，包括矽、絕緣子上矽（SOI）和砷化​​銨（GaAs）。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS能夠使用多種蝕刻技術，包括等離子體反應性離子蝕刻（PERI）、化學反應蝕刻（CER）和幹蝕刻。每一種技術都可以使用TEL Trias內置的多參數控制機器對基板進行精確編程和定制。此工具允許對蝕刻參數進行高度微調,從而允許有一系列不同的蝕刻輪廓和特征。此外，TOKYO ELECTRON Trias的設計既堅固又高度可靠，壽命周期長。Trias提供了高通量和高精度的蝕刻工藝,非常適合用於各種半導體器件制造環境。其可靠的蝕刻工藝，加上其多種特性，使其成為生產一系列電子產品的有用工具。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS設計環保，意味著它減少了有毒蝕刻氣體的使用。它的設計也考慮到了安全性，具有許多保護功能，確保操作人員在蝕刻過程中的安全。此外,蝕刻資產是自校準,這意味著維護和校準例程最小化。最後，設計了該模型，用於快速重新加工。這種靈活性，加上其可靠的蝕刻工藝，使得TEL Trias成為半導體器件制造商的強大工具。