二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9378307 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款設計用於現代半導體制造工藝的高性能蝕刻器/asher。TEL Trias系列蝕刻器專為高吞吐量和可靠性而設計,利用各種先進技術確保準確、快速地完成蝕刻過程的每個步驟。因此，TOKYO ELECTRON Trias已成為3 D IC封裝、MEMS制造等半導體制造工藝的熱門選擇。Trias系列利用閉環設備來控制整個蝕刻過程。這種閉環系統利用三軸氣體淋浴來實現整個基板的均勻蝕刻。然後使用PID（成比例積分導數）控制器確保在整個蝕刻過程中保持準確的基板溫度。這種閉環單元由TEL/TOKYO ELECTRON Trias的自動蠟像控制機進一步補充，該機允許一次蝕刻多種底物，並有均勻的蝕刻結果。TEL Trias系列還以其變頻微波線圈和先進的等離子體發生器而著稱。這些組分被用來產生所有所需蝕刻氣體的均勻等離子體。這使得TOKYO ELECTRON Trias可以進行一步蝕刻過程，其中具有可變氣體的多個蝕刻步驟一次全部完成。Trias還擁有一個集成的氣體面板，用戶可以快速、輕松地更換蝕刻氣體，以達到預期的效果。這意味著用戶可以輕松地在蝕刻氣體之間切換，同時保持蝕刻過程的穩定和連續。此外，集成氣體面板還允許用戶在必要時微調蝕刻過程，以產生更復雜的結果。最後，TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS蝕刻機也符合OSHA標準，這對於那些希望確保其半導體制造工藝符合安全和法律標準的人來說非常重要。因此，TEL Trias是那些希望快速、可靠地創建復雜和精確蝕刻結果的人的理想工具。