二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9390441 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一種用於蝕刻和灰化工藝的多用途解決方案。該設備能夠對各種應用範圍廣泛的基板進行蝕刻、灰化、清洗，如微電子器件、半導體元件、MEMS器件等材料。該系統包含一個完全自動化的模塊化單元概念，包括淹沒動作和控制模式。浸沒作用有助於薄膜蝕刻，防止沈積超過上限，允許高度精確的蝕刻技術，而無需手動調整。控制模式便於精確蝕刻和灰化,並通過調整的溫度控制來實現所需的過程。該機還具有獨立的過程控制，使用了上下溫度設置、曝光時間、曝光功率等多項參數。這些參數可以根據所需的結果和基板單獨或全局調整。這確保了個人的便利和安全,同時仍然提供精確和可靠。此外,TEL Trias還配備了高級顯示和數據處理功能,包括配方編輯功能、熱歷史監測和測量以及診斷功能。該工具采用特殊的兩層石英管，以確保逐漸加熱，從而提高蝕刻精度。它還結合了線性電動機驅動控制資產，實現了精確和可重復的步驟，以及具有高鹵化物燈的獨特光源，用於精確控制蝕刻功率和均勻曝光。TOKYO ELECTRON TRIAS還提供了與許多市售蝕刻劑的工藝兼容性，例如基於HF的酸、剝離器和硫醇。在此過程中，可以監測進口氣體和廢氣的安全運行。而對於電源，該模型使用可編程直流和恒定電流源，允許在蝕刻和灰化過程中對電流和電壓進行精確控制。最後,Trias設計方便維護和操作。具有先進的安全特性，符合安全標準。其模塊化設計和經濟高效的安裝使其成為實驗室和工業應用的理想選擇。