二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9399572 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款先進的蝕刻/asher設備，由領先的工藝設備制造商TEL開發。這種高端系統是為廣泛的工業蝕刻/asher應用而設計的，例如生產半導體器件和平板顯示器。TEL Trias具有先進的蝕刻/灰化室和工藝室，為用戶提供精確的蝕刻/灰化操作，使他們能夠以無與倫比的準確性和可重復性來控制蝕刻/灰化應用。該單元配備了集成的真空機和一系列計算機控制的硬件和軟件，用於監控蝕刻/灰化進度。該工具還包括自動配方輸入和遵守各種國際安全法規。其獨特的混合脈沖等離子體資產，由變壓器調制等離子體技術和標準等離子體技術組成，使TOKYO ELECTRON TRIAS能夠發出精確控制的等離子體，持續的高蝕刻/灰化結果。與其他蝕刻/灰化系統相比,該模型將產生更高的蝕刻速率、準確性和一致性,從而產生更高的產量和更低的拒絕。此外，Trias在蝕刻/灰化工藝室內提供溫度控制，溫度範圍在-50°C至450°C之間。這允許用戶在蝕刻/灰化過程中快速高效地監視參數。而且，該設備與TOKYO ELECTRON'autoSampler'晶片卡盤及其全面的'用戶界面'軟件完全兼容，允許用戶從一個中心位置控制蝕刻/灰化過程。此外，TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS的設計具有高度的安全和環境保護特性，例如用於提取有害物質的強大風扇和監測潛在有害物質的工藝環境的能力。該系統還附有一個交互式教學菜單，使用戶可以快速配置機器的設置，並清楚地概述其過程的可重復性。總體而言,TEL Trias為在蝕刻/灰化操作中尋求最佳性能和可靠性的用戶提供了高級蝕刻/灰化解決方案。此單元非常適合半導體和平板顯示器制造商,他們要求其蝕刻/灰化工藝的精度和一致性達到最高水平。