二手 TEL / TOKYO ELECTRON Triase EX-II Plus Ti/TiN #293659307 待售

TEL Triase EX-II Plus Ti/TiN 蝕刻器/asher是一款最先進的蝕刻/灰化設備,以其精確的圖案和可靠的性能而聞名。利用最新技術,系統提供高吞吐量、高吞吐量區域覆蓋範圍和快速蝕刻/灰化處理時間。此單元具有出色的表面體積比以及較低的擁有成本,因此非常適合各種蝕刻/灰化應用。此外,EX-II Plus Ti/TiN還包括一臺集成加熱機,可確保整個腔室的溫度均勻,從而提高加工過程中的精度。因此,用戶可以創建很少或沒有表面粗糙度的精確模式。Triase EX-II Plus Ti/TiN專為各種材料而設計，其工藝配方可為每個應用程序定制。它采用高分辨率成像工具,可提供高達150 µm的光斑成像,並顯著提高表面分辨率。此外,該資產還包括多電極配置,它能夠創建更復雜的設計並提高蝕刻選擇性,從而產生極其清晰的側壁輪廓。在安全性方面,此模型以強大的安全管理設備為基礎,為在流程中優先考慮安全性的用戶提供增強的流程環境。為了盡量減少顆粒汙染的影響，系統包括一個集成的晶圓排氣單元。它還配備了一個集成的源氣體分配機，幫助減少氣體流動噪音，使用戶能夠在一個安靜而富有成效的環境中工作。EX-II Plus Ti/TiN專為極致方便而設計,還包括一個一次寫、多讀（WORM）數據管理程序,用於快速備份、歸檔和恢復配方。此外,該工具的內置觸摸屏界面允許用戶從資產的前端監視和控制其流程,從而實現快速、輕松的設置和執行。總之，TOKYO ELECTRON TRIASE EX-II Plus Ti/TiN是一種先進的蝕刻/灰化模型，能夠提供一致的高質量結果。該設備配備了多種功能和安全協議,使用戶能夠高效、準確地創建復雜的設計並滿足他們的需求。