二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-207H #9181874 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207H Plasma Asher是一種高通量等離子體蝕刻工具，用於各種材料的蝕刻和灰化。蝕刻器/asher裝有50mm SiH3次級基材和15mm石英晶片載體。TEL TSP-207H等離子體蝕刻工具的高功率、高壓和高度可靠的ECR等離子體源提供了最佳的蝕刻性能。該設備采用可移動磁控管和高頻發電機，具有出色的蝕刻均勻性、準確性和可重復性。TOKYO ELECTRON TSP-207H可以用其盒式裝載機/卸載機輕松裝卸。TSP-207H等離子體灰燼的ECR等離子體源產生了廣泛的等離子體種類，具有高度的精確度和重復性。由於其先進的溫度控制系統，其底物溫度可以準確地融入沈積和蝕刻過程。Asher/etcher還配備了過程監控功能，以完全控制等離子體過程。用掃描電子顯微鏡（SEM）可以對蝕刻圖案和蝕刻表面進行截面觀測。高級控制器能夠執行不同的蝕刻過程，如蝕刻深度控制、時間和溫度等。此外,它還配備了獨特的、用戶友好的圖形用戶界面（GUI）,以實現最佳的流程操作。此外，TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207H Plasma Asher還附帶遠程監控技術，用於遠程操作、控制和維護。TEL TSP-207H PlasmaAsher是一種針對高通量和可靠結果進行了優化的健壯單元。它被設計用來處理各種蝕刻和灰化條件，以適應廣泛的加工需求，使其成為蝕刻和灰化操作的理想選擇。這臺機器提供了卓越的精度和可重復性，同時它的用戶友好的界面確保操作方便。
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