二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-304 #9355302 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304 蝕刻器/asher是一種高度先進的半導體加工儀器，設計用於進行幹蝕刻操作。利用等離子體技術，能夠以超高精度和精確度沈積和蝕刻各種材料。它具有五個主腔室的多腔室設置，每個主腔室在蝕刻過程中都有自己的特定用途。這包括主室、饋線室、反作用室、射頻室和後灰室。主室容納樣品儲存器，並保持在精心控制的氣氛中，以確保從晶圓到晶圓的均勻一致的蝕刻結果。該腔室與負責將蝕刻劑和基板引入主腔室的饋線腔室相連。反應室是等離子體存在的地方，同時配有磁場和電場來控制等離子體密度。此字段使操作員能夠調整蝕刻速率和蝕刻選擇性以適應特定材料。射頻室與其他室電隔離，充當產生等離子體的高功率源。這種射頻室也可用於順序蝕刻操作，允許制作具有出色角圓的精細圖案。最後，後蝕刻室是晶片處理的地方，以確保它們沒有任何腐蝕行為。為了進一步提高性能,TEL TSP-304配備了多種安全和診斷功能。它還帶有一個全面的圖形用戶界面，使操作員能夠輕松監控和控制蝕刻過程。總而言之，TOKYO ELECTRON TSP-304是一種先進的蝕刻器/asher，能夠產生高度精確和線條定義的特征，具有極好的重復性。