二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-304 #9355303 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TSP-304
ID: 9355303
晶圓大小: 12"
Dielectric etcher, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304是業界領先的蝕刻器或灰化器,專為最苛刻的濕蝕刻和剝離應用而設計。TEL TSP-304采用大型、穩定的濕式板凳設計,於2003年作為半自動蝕刻機首次推出。TOKYO ELECTRON TSP-304具有令人印象深刻的36 「x 36」(914 mm x 914 mm)頂部工作表面,最多可容納4桶溶液。蝕刻器的核心是安裝在控制面板上的過程自動化控制器,它控制所有的蝕刻器功能,如溶液攪拌、溫度、定時以及各種其他過程控制參數。該面板還管理一系列安全功能,例如故障診斷和用戶定義的緊急停機。TSP-304為各種蝕刻工藝提供了通用的可編程門控制,包括氧化、擴散、化學氣相沈積等等。TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304配備常規的15厘米x 20厘米小晶圓石英船,並能容納最多兩艘更大的石英船,是生產太陽能電池、MEM和平板顯示器蝕刻的理想選擇。它有一個內置的排水方便維護,包括快速更換多品脫蝕刻電阻。TEL TSP-304的設計考慮到了方便和安全。利用升級的安全支架,蝕刻器的設計目的是保護用戶免受有害物質飛濺的侵蝕-不會泄漏、泄漏或交叉汙染。維護也很容易;TOKYO ELECTRON TSP-304的人體工程學設計允許以最小的努力輕松清潔和維護。這些功能使TSP-304成為蝕刻應用程序的理想選擇。TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304具有高度可靠的濕蝕刻和用戶友好的平臺,是小型和大型生產環境的完美解決方案。其最先進的控制系統,加上較大的頂層工作區域,使得TEL TSP-304成為生產和研究的完美蝕刻解決方案。
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