二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE #9366004 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE是一種蝕刻器或asher，設計用於各種半導體器件制造工藝中基板的受控蝕刻。該蝕刻器能夠一次蝕刻和處理多達七個晶片，並支持手動和自動加載和卸載晶片，以實現最大效率。蝕刻器設計有一個單室，可以在其中存儲和訪問處理請求、處理參數和配方數據。該蝕刻器配備精密、多模等離子體源，提供卓越的基板蝕刻、均勻性和工藝重復性。TEL TSP-305 SCCM TE蝕刻器具有擴散泵，每分鐘可提供高達2400升的高效抽水。這使得蝕刻器能夠更快速可靠地執行大型蝕刻作業，也有助於降低處理成本。還包括先進的工藝室溫度控制系統，以確保均勻的溫度，即使在較長的加工時間，以保持高水平的基板蝕刻均勻性。蝕刻器還具有自動過程控制系統，旨在保持高度一致的蝕刻過程。蝕刻器能夠根據需要通過調整氣體流量、壓力和電極功率來自動控制蝕刻過程。此蝕刻控制系統減少了與保持高度一致的蝕刻過程相關的時間、人工和氣體成本。TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE蝕刻機利用多級射頻發生器直接進行射頻襯底蝕刻。射頻發生器能夠在三個不同的公共頻率下運行，從而實現最大的工藝靈活性。射頻發電機配有高性能伺服電機和直接驅動軸電機，提供優越的基板蝕刻。此外,蝕刻器還支持復雜的晶片U/V編碼、基板識別和缺陷修復操作。總體而言,TSP-305 SCCM TE蝕刻器是一種卓越的蝕刻解決方案,可提供可靠且可重復的蝕刻性能。蝕刻器可以處理廣泛的蝕刻操作，包括蝕刻、化學氣相沈積和自旋塗層。它具有擴散泵、自動化過程控制和多級射頻發生器，所有這些都使TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE蝕刻器成為控制和高度一致的蝕刻過程的絕佳選擇。