二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS #293767161 待售
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ID: 293767161
優質的: 2007
Etcher
Process: Oxide
(5) Loadports
iH160 Pumps:
Chamber position / Gases
Unit 1 / N2, C4F8, Ar, O2, CH2F2, CHF3, CF4, C4F6
Unit 2 / N2, C4F8, Ar, O2, CH2F2, CHF3, CF4, C4F6
Unit 3 / N2, C4F8, Ar, O2, CH2F2, CHF3, CF4, C4F6
Unit 4 / N2, C4F8, Ar, O2, CH2F2, CHF3, CF4, C4F6
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS是為精確可靠的半導體器件制造工藝而設計的先進蝕刻/asher設備。由領先的半導體生產設備供應商TEL Limited （TOKYO ELECTRON）開發的TEL TSP-305555SSSS集成了尖端技術,以實現對半導體行業至關重要的高性能蝕刻和灰化工藝。TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS的核心是其先進的等離子體蝕刻技術，它允許對半導體晶片上的材料去除進行微調控制。該系統配備了最先進的射頻（RF）等離子體源，產生高反應性等離子體物種，以有效蝕刻選擇性和均勻性高的各種材料。這種能力對於創建具有亞微米精度的復雜半導體器件結構至關重要。此外,TSP-305555SSSS還具有支持蝕刻和灰化應用的多功能工藝室設計。該裝置可以配置不同的氣體化學和工藝參數，以適應廣泛的材料組成和裝置設計。這種靈活性使半導體制造商能夠針對各種設備制造需求優化工藝性能和產量。除了先進的蝕刻能力外，TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS還配備了精密的工藝監控功能，以確保一致和可重現的結果。該機集成了實時過程監測傳感器，如光發射光譜（OES）和質譜，在處理過程中跟蹤等離子體參數和端點檢測。這些監控工具可實現精確的過程控制和端點檢測,使操作員能夠實現所需的蝕刻速率和端點精度。此外,TEL TSP-305555SSSS還包含自動化和軟件控制功能,以簡化操作並提高生產效率。該工具配備了一個用戶友好的界面，便於配方管理、參數調整和數據分析以進行流程優化。高級軟件算法支持預測性維護計劃和遠程監視功能,以提高資產可靠性和正常運行時間。TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS旨在滿足半導體制造環境的嚴格要求,包括潔凈室兼容性、安全特性和環境合規性。該模型采用優質材料和組件構建,以確保在要求苛刻的操作條件下的長期耐用性和性能穩定性。此外,TSP-305555SSSS符合安全、電磁兼容性（EMC）和環境法規的行業標準,以支持可持續的制造實踐。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS代表了為高精度半導體加工應用量身定制的尖端蝕刻器/asher設備。憑借先進的等離子體技術、多用途的工藝能力和強大的設計,TEL TSP-305555SSSS為半導體制造商提供了在當今競爭激烈的半導體行業中實現卓越的設備性能和產量的可靠解決方案。
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