二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #293765913 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS是一種利用更高功率的等離子體、更高的速度和卓越的溫度控制來實現高速、高質量蝕刻和灰化的蝕刻器/灰化器。TEL TSP-30555SSS由RIE（反應性離子蝕刻）室、等離子體源、排氣設備和遠程等離子體源組成，包括MFC（質量流控制器）。先進的內部法拉第-凱奇結構，可以進行高質量的等離子體處理，以及高蝕刻速率、提高蝕刻精度、在整個表面積上均勻蝕刻。這種蝕刻器設計用於多種底物，包括聚合物和金屬。高速蝕刻過程由功率更高的等離子體源、改進的溫度控制器和先進的自動化控制系統實現。等離子體源能夠產生高達1000瓦的功率，能夠提供出色的蝕刻和灰化能力。改進的溫度控制器可確保每個蝕刻和灰化過程的最佳和一致溫度,從而實現均勻且可重復的結果。TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS還包括一個遠程等離子體源，以確保整個基板表面積的均勻結果。這個控制單元由一個計算機程序管理，這樣每一個蝕刻/灰燼過程都可以針對每一個單獨的應用進行精細的調整。內置的MFC（質量流控制器）可用於精確控制回流速率、氧平衡和等離子體腔外壓。此外，排氣機有效地排出蝕刻過程產生的任何毒化和磨損，確保安全操作和清潔的工作環境。TSP-30555SSS蝕刻器能夠為各種蝕刻/灰分工藝提供卓越的性能。功能包括功率更高的等離子體、改進的溫度控制器和遠程等離子體源,以及自動控制工具和MFC,允許在整個表面積上實現高蝕刻和灰化速度、高質量的結果以及均勻的蝕刻。這種蝕刻器非常適合實際應用和研究應用，使科學家和技術人員都能利用這種先進蝕刻/灰化技術的許多好處。
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