二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #293809043 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS是一種具有高級功能的蝕刻器/asher,用於在各種基板上創建高質量的圖像和圖樣。它采用幹蝕刻和濕加工相結合的方式，在矽、石英、金屬等各種材料上制作復雜的蝕刻。該設備有五個特征鮮明的工具室，采用RIE（反應性離子蝕刻）工藝，其中等離子體離子與材料表面發生化學反應，以去除預定層。由於其RIE工藝配置,TEL TSP-30555SSS具有高度統一的蝕刻配置文件。氣體分布可以很容易地修改，以便產生一系列蝕刻剖面，如各向同性、各向異性、深度滲透和淺層蝕刻。氣流控制系統由流量閥、質量流量控制器、自動閥執行器和電熱電壓調節器組成。該單元允許精確控制壓力和氣流，以實現所需的蝕刻剖面。這臺機器能夠蝕刻0.2至22.1 μ米的深度。此外，TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS也可用於濕加工。它有一個原位高壓濕式清潔工具，能夠做出非常精確和高質量的圖像。資產有壓力、溫度、時間、溶劑控制，以優化清洗過程。這允許根據應用程序優化蝕刻配置文件。TSP-30555SSS還改進了安全功能。它配備了一個自動安全模型，如果檢測到蝕刻或濕法加工中的異常，則停止設備。它還配備了一個集成的水流率傳感器，確保清潔過程順利運行，符合安全準則。該系統還設有先進的排氣裝置，以減少蝕刻和濕法加工過程中釋放的有害煙霧和顆粒。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS是一種先進的蝕刻器/asher，其設計目的是通過多種材料基板實現高精度。它具有通過RIE工藝和精確濕法加工產生高質量圖樣和圖像的能力。該機還改進了安全功能，以確保安全的蝕刻環境。