二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #9352959 待售
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ID: 9352959
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Etcher, 12"
Model: SCCM Shin
Main frame
(3) Chambers
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS是一種蝕刻器/asher，旨在為用戶提供快速高效的晶圓陣列功能。它是一個單一的晶圓系統，具有相當大的加工面積，使它能夠容納大型晶圓基板，如2英寸、4英寸和6英寸晶圓。這款蝕刻器/asher裝有RIE（反應性離子蝕刻）加工室，能夠對晶圓基板表面的各種材料進行高精度蝕刻。它具有高精度和廣泛工藝條件的幹蝕刻能力，適合在晶片上產生細微的特征。TEL TSP-30555SSS有一個自動化的流程控制器，允許用戶為流程周期預設多個流程選項。它還具有一個在蝕刻過程中控制腔室狀況的界面和一個能夠對壓力、溫度和工藝狀態進行目視監測的診斷系統。此外，TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS還配備了多項其他功能，以提高其性能。其中包括先進的自動調諧設備、多室/多堆棧設備以及控制基板溫度以優化蝕刻結果的自動加熱/冷卻系統。除此之外，它還配備了超大型內聚物、OFE泵和高真空（HV）組件，所有這些都是為了在整個過程中保持高精度和可靠性而設計的。TSP-30555SSS還與各種蝕刻工藝高度兼容，如等離子體、離子束蝕刻和濺射蝕刻。它還能夠同時執行單步和多步過程。循環時間很短，每個循環最多可處理六個晶圓的生產。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS是一款出色的蝕刻器/asher,旨在為用戶提供快速高效運行的高精度結果。其堅固的結構、自動化的過程控制器和眾多的功能使其成為用於半導體和其他相關行業的各種材料蝕刻的理想選擇。
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