二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055D #9284538 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055D 蝕刻/asher是為微電子、半導體晶圓和平板顯示元件蝕刻而設計的精密微蝕刻設備。它是專門為各種需要高度精密的工藝而設計的，包括圖案形成、蝕刻、沈積、表面處理、平面化和沈積穩定。蝕刻器/asher是一個全自動系統,其最大腔室大小為495Si,工作溫度範圍為25°C-850°C,循環時間為1000-10000K周期內的30毫秒。溫度可以精確地以100°C的增量調整，具有出色的穩定性和可重復性，循環參數也可以調整以滿足不同的要求。該單元還有一個大的高分辨率顯示屏，允許用戶輕松控制進程參數。TEL TSP-3055D還配備了一系列強大的軟件和硬件功能。該機使用Waferscanner和microscanner技術，允許對蝕刻和任何其他需要亞微米精度的工藝進行精確定位。該工具有一個Unimatic Front End應用程序,可以高效操作蝕刻器。還有用戶選擇的幹蝕刻和濕蝕刻選項以及重新飛行蝕刻工藝控制功能。該資產具有高級功能，包括高精度流量控制、可編程電阻率控制和內置傳感器包，能夠獲得極其精確的結果。該型號還配備了真空腔室壓力控制功能，可主動監控腔室內的壓力。此功能與其他嚴格的工藝一起,可實現極低故障率的高精度蝕刻結果。總體而言，TOKYO ELECTRON TSP-3055D 蝕刻器/Asher是一個極好的設備，為各種微電子應用提供了極好的精度和可重復性。它具有一系列先進的特性和能力，能夠以最少的時間和精力進行精確的微處理操作。它提供的準確結果是可靠的,有助於降低成本和提高生產率。