二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252309 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD是一種先進的蝕刻器或asher，能夠為半導體工藝提供高精度底物。它是來自TEL的單晶圓處理工具，設計用於生產處理器、內存和其他集成電路等半導體產品。TEL TSP-3055DD旨在提供高水平的均勻性和速度,使其適合各種生產需求。TOKYO ELECTRON TSP-3055DD的核心是一個高度精確的蝕刻頭，能夠實現其功能的高度均勻性。該蝕刻器配備了擴散流控制技術，提供高達每分鐘20毫升的氮氫氣體流速。其電極板經過微調，形狀精細，可達到最佳蝕刻速率。這樣可以實現每小時60個晶圓的高通量,從而實現半導體零件的高速生產。蝕刻頭還配備了APS-3000定位系統，提供精確的工具對準和高水平的叠加精度。TSP-3055DD還配備了過程控制系統，這是準確交付基材過程的組成部分。根據加工基材的類型，自動調整蝕刻時間和氣體流速等工藝參數，確保最高精度零件的生產。該系統還允許廣泛使用蝕刻劑，增加了工具的多功能性。TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD還配備了一個高級通信模塊，能夠遠程監控蝕刻器。這包括對流程參數進行遠程監控,從而減少了對維護人員的需求。此外,通信模塊可用於調整給定基板的蝕刻配方,幫助優化處理時間並最大程度地減少浪費。總之，TEL TSP-3055DD是一種高度精確、快速、多用途的蝕刻器或粉碎器，其設計符合現代半導體生產行業的需要。其特點，如擴散流控制技術、微調電極和先進的控制系統，使其成為生產高精度、大體積基板的理想工具。它的自動化功能和遠程監控使該工具成為生產設置的絕佳選擇,提高了生產效率,同時減少了維護開銷。
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